特点

H-8

1. 1实现压缩应力的镀层被膜
2. 2由于可以加厚层，因此被用于 MEMS 应用

F-20

1. 1厚度可达约 10 µm
2. 2实现不超过10μΩ・cm的比电阻

物性数据

		H-8	F-20
极限膜厚	μm	～100	～10
内部应力	MPa	压缩应力	拉伸应力
比电阻	μΩ･cm	65	9.2
硬度	Hv	930	1020

环保

• 不易引起过敏反应的金属，可用于医疗领域
• 因为是贵金属，可回收
• 不使用毒性物质

镀铑薄膜的特性

1. 1低电阻
2. 2难以与锡反应
3. 3耐磨性

主要用途

• 电子元件和接触部件（探针卡，探针引脚，簧片开关）
• 电铸精密机械组件 (MEMS)
• 光学元件（反射板）
• 工业零部件
• 医疗领域（乳房 X 射线照相滤光片，X射线不透明标记）

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